半导体装置.pdf

  1. 类别:专利
  2. 上传人:wuyuzegang
  3. 上传时间:2023/4/19 20:36:52
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简介:

本发明的一个目的是提供一种半导体装置,它能够改善半导体元件的可靠性,并提高其机械强度,而不减小电路规模。该半导体装置包括夹在第一和第二密封薄膜之间的集成电路、与该集成电路电连接的天线,该第一密封薄膜夹在基板和该集成电路之间,它包括多个第一绝缘薄膜和夹在其间的至少一个第二绝缘薄膜,该第二密封缘薄膜包括多个第三绝缘薄膜和夹在其间的至少一个第四绝缘薄膜。第二绝缘薄膜的应力比第一绝缘薄膜低,第四绝缘薄膜的应力比第三绝缘薄膜低。第一和第三绝缘薄膜是无机绝缘薄膜。

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