一种光刻装置的对准系统以及该对准系统的级结合系统.pdf

本发明公开一种光刻装置的对准系统以及该对准系统的级结合系统，其对准系统包括光源模块，提供照明光源；照明模块，传输照明光源的光束，照明晶片上的对准标记；成像模块，使正、负级次的频谱光斑对应重叠相干，采用多色光分离系统实现多波长光信号的分离；探测模块，通过测量多个波长多级次衍射光斑对应位置处光强或位相的变化，得到对准标记的位置信息。对准系统的级结合系统使对准标记衍射频谱的正、负级次的频谱光斑对应重叠相干；采用多色光分离系统实现多波长光信号的分离；通过测量多个波长多级次衍射光斑对应位置处光强或位相的变化，得到对准标记的位置信息。本发明光刻装置的对准系统以及级结合系统能够提供较高的对准精度和稳定性。