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锤子
采用负性光刻胶组合物形成电镀产品的方法以及在该方法中使用的光敏组合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/20 9:13:09
- 文件大小：1707K
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简介：
一种方法，其提供能够形成具有大的电镀深度的多层次电镀产品。采用了一种负性光刻胶组合物，该组合物包含(a)碱溶树脂、(b)酸生成剂和(c)其它组分，并且通过如下步骤形成电镀产品：步骤(A)，形成这种负性光刻胶组合物的层，然后在进行曝光之前进行加热或不加热；步骤(B)，重复所述步骤(A)，使所述步骤(A)进行总计为2次或更多次，以使所述负性光刻胶层叠加，然后将所有这些层同时显影，以形成多层抗蚀剂图案；以及步骤(C)，在这种多层抗蚀剂图案内进行电镀处理。
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