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锤子
电子设备,半导体器件,以及适用于制造此类器件的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 15:14:17
- 文件大小：2342K
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简介：
本发明的一个目的是提供一种高可靠性EL显示器件以及制造该显示器件的方法,它可以屏蔽侵入的潮气或氧,这是劣化EL元件性能的一个因素,而没有增大EL显示器件。在本发明中,涂敷作为一种方法,用于形成高热稳定性平整薄膜16,典型的是,TFT的中间绝缘薄膜(作为以后发光元件的基础薄膜),在该薄膜中,采用硅(Si)和氧(O)的组合构成主干结构。在形成之后,再形成具有锥形形状的边缘部分和开孔部分。此后,添加具有相对较大原子半径的惰性元素产生变形,以改进或高密度化其表面(包括侧面),从而防止潮气或氧的侵入。
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