消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种光刻机成像质量的检测方法,其特征在于该方法包括准备工作、标记测量和数据处理等步骤,本发明该方法在完成光刻机的焦面偏移、场曲、像散等轴向像质参数的原位检测的同时,实现了对畸变、放大率、平移、旋转等垂轴像质参数的精确测量,避免了垂轴像质参数的测量精度对轴向像质校正程度的依赖关系,可获得光刻机像全面的质参数。
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