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锤子
激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件的制作方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 20:12:20
- 文件大小：2744K
- 下载次数：0
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简介：
本发明的目的是提供一种激光照射装置,该装置与使用连续振荡的激光器的装置相比,能够大幅度地扩展光束点的面积,并抑制对玻璃衬底的热损伤,且能够使结晶面向扫描方向连续地长大,形成由沿该扫描方向延长的单结晶构成的晶粒群。本发明的激光照射装置的特征是包括激光振荡器；用于改变从所述激光振荡器发射出来的脉冲振荡激光束的波长的非线形光学元件；以及用于将其波长被改变了的所述激光束聚光到半导体膜上的光学系统,其中,所述脉冲重复频率在10MHz至100GHz的范围。
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