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锤子
光刻装置和使用光刻模拟技术优化照明光源的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 21:21:25
- 文件大小：6385K
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简介：
一种用于利用计算机模拟技术优化光刻装置的照明条件的方法,所述光刻装置包括一个照明器和一个投影系统,所述方法包括：确定要印刷在基底上的光刻图案；选择模拟模型；选择照明器的光瞳平面中的一格栅的源点；计算个别源点的单独响应,每个响应表示一个或一系列使用模拟模型的模拟结果：以及在单独计算值累计结果的分析基础上调节照度分布。其中选择模拟模型的步骤包括,选择一种用于在基底上印制图案的抗蚀方法,并选择一个抗蚀模型,所述抗蚀模型是能预测实验结果的标准模型。本发明还提供一种执行上述方法的光刻投影装置、具有机械可执行命令编码的机械可读媒介、以及设备的制造方法。
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