消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种尤其用于光刻装置中的控制器,它通过控制力来控制质量体如衬底台(12)的位置。控制器可从所述质量体(12)接收反馈位置信号,并根据所述反馈位置信号和所述控制力计算估计质量()。然后,控制器利用所述估计质量()和所需的质量加速度来确定加速所述质量体(12)所需的控制力,并将其移动到所需的位置。
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