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锤子
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公开了一种测量用于涉及光刻术的制造过程的过程参数的方法。在所公开的布置中,所述方法包括在衬底上的区域中进行对于重叠误差的第一测量和第二测量、以及基于对于重叠误差的第一测量和第二测量获得过程参数的量度。对于重叠误差的第一测量被设计成对所述过程参数的扰动的灵敏度比对于重叠误差的第二测量对所述过程参数的扰动的灵敏度高出一已知的量。
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