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锤子
光刻设备、用于卸载衬底的方法和用于装载衬底的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 16:05:58
- 文件大小：1648K
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简介：
一种用于从被配置为支撑衬底的支撑台卸载衬底的方法,该方法包括：经由支撑台中的多个气流开口向支撑台的基面与衬底之间的间隙供应气体,其中在初始卸载阶段期间,通过支撑台的外部区域中的至少一个气流开口而不是通过支撑台的在外部区域的径向向内的中央区域中的任何气流开口来供应气体,并且在随后卸载阶段期间,通过外部区域中的至少一个气流开口和中央区域中的至少一个气流开口来供应气体。
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