一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节.pdf

本发明公开了一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法,包括第一支架,第一支架的一端表面固定连接有第二支架,第一支架的上端表面位于一端边缘处固定安装有承载座,承载座的上端表面设置有炉盖,炉盖的底端表面固定连接有炉体,本发明涉及半导体生长炉结构技术领域。本发明所述的一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法,通过设置的第一支架组件结构,可方便吊起炉盖结构,以方便使用者往炉体中添加固定半导体材料,同时可方便对炉体内部装置结构进行检修或清洗,通过设置的第二支架组件结构,可方便在装置使用过程中吊起连接绳查看和收集产物,通过设置的炉体结构,其保温效果良好,升温速度块,可提升半导体生长速率。