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Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器,基于一种被称为定量阴极发光的突破性技术,它将光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场快速扫描同时获得扫描电镜成像与高光谱或全光谱CL图像。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜(SEM)性能的前提下获得最佳的阴极发光性能:光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起,使它们的焦平面相互匹配;光学显微镜以亚微米精度加工,与传统的CL技术相比,具有高数值孔径(N.A.0.71)的消色差、高数值孔径(N.A.0.71)检测,在大视场(高达300 μm)下具有优越的光子收集效率。因此,定量阴极发光,其 中与仪器系统相关的组件所引入的误差可以从本质上被排除掉,这使阴极发光首次变的可信。
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