产品手册FilmetricsR54-系列高级方块电阻测试仪

Filmetrics®R54是KLA方块电阻和电导率测绘 系统的最新产品。 R54代表了超过45年的方块 电阻技术优势地位的巅峰之作。自1975年KLA旗下公司推出第一款电阻率计以来，已经 彻底变革了导电层的方块电阻和厚度的测量方法。 方块电阻测量对于使用导电薄膜的行业都至关 重要。无论是半导体制造，还是实现可穿戴技 术所需的柔性电子产品，都是如此。针对金属 薄膜均匀性测量、离子注入掺杂和退火表征、 电阻率分布图以及非接触式薄膜厚度测量，R54在功能上均做了优化。 系统优势 . 密闭系统有助于测量光灵敏或环境 敏感样品 . 可容纳最大直径为300毫米的样品 . 可配置四探针(4PP)或非接触式涡 流(EC)模式 . 15 毫米的最大样品高度 . 方块电阻测量范围覆盖十个量级 . 可以使用矩形、线性、极坐标和自 定义配置等采样点排列方式进行测 绘 . 高精度X-Y样品台 . 业内较小的涡流测量尺寸 . 易于使用的软件界面 . 兼容所有KLA方块电阻探针