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Filmetrics®R50系列电阻测试仪 Filmetrics R50 是KLA电阻测试家族的最新产 品。 R50的设计代表了KLA超过45年电阻测量 领先技术地位的巅峰之作。自1975年我们的 第一台电阻计问世以来, KLA电阻测试家族产 品已经革 命性的改变了导电薄膜电阻和厚度 的测量方式。 电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行 业都至关重要,从半导体制造到可穿戴技术 所需的柔性电子产品。 R50在金属膜均匀性分 布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻 率分布、以及非接触膜厚等量测均进行了优化加强。
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