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锤子
产品手册Zeta -20HR高分辨率光学轮廓仪（专用于太阳能电池）
- 类别：仪器样本
- 上传人：KLA
- 上传时间：2024/2/21 19:33:50
- 文件大小：1424K
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简介：
Zeta™ -20HR高分辨率光学轮廓仪（专用于太阳能电池） KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率 光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表 征和下一代生产工艺的量测需求而设计. Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电 池结构的表征能力拓展至 1μm 以下。这款新型的 Zeta 设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可 配备 230mm x 230mm 尺寸的样品载台，并具备所有 标准化且易用的多模测量能力。Zeta 光学轮廓仪是太 阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。 概览 1、横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30% 样品台拓展至 230mm x 230mm， 支持先进的太阳能电池生产工艺 2、用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征 3、改进的数据可视化方式
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