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纳米压痕仪是一种准确的、灵活的、便于使用的纳米力学测试仪器,适用于在各种薄膜和表面上进行纳米级力学测试。KLA的纳米压痕系统使用电磁力驱动,使其在力和位移方面均具有大的动态范围。这些系统能够按照ISO14577 标准测量材料的杨氏模量和硬度,并测量从纳米到毫米六个数量级的形变。NanoIndenter® G200X是 KLAInstrumentsm 的最新产品,可以覆盖材料表征方面的各种应用。 半导体和化合物半导体加工可能会产生亚临界缺陷,这些缺陷在加工制造很久后仍可能激活,通常会造成现场可靠性问题。这些潜在缺陷可能是由于微裂纹扩展、品格常数不匹配或相邻材料之间的热膨胀系数不同造成的,一旦产生影响则成本高昂。虽然检测设备可以检测到现有的缺陷,但它们不能表征是否会在加工制造后期或产品使用时出现新的缺陷。
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