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锤子
艾里卡特 - MCV系列质量流量控制器(真空型)- 参数表
- 类别：仪器样本
- 上传人：艾里卡特
- 上传时间：2014/6/10 11:06:08
- 文件大小：408K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 免积分
简介：
Alicat的MCV系列设计用于高真空行业中精确控制气体的质量流量、体积流量和压力。高速比例调节阀内置于控制器本体后端，使符合SEMI国际标准。其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为1×10-9 atm-scc/s的正向切断，防止设定值为零时可能产生的污染。MCV系列亦采用Alicat专利的层流压差技术，确保了在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书。
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