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锤子
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Alicat的MCV系列设计用于高真空行业中精确控制气体的质量流量、体积流量和压力。高速比例调节阀内置于控制器本体后端,使符合SEMI国际标准。其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为1×10-9 atm-scc/s的正向切断,防止设定值为零时可能产生的污染。MCV系列亦采用Alicat专利的层流压差技术,确保了在大流量情况仍然是线性流动,从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书。
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