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ULVAC-PHI,INC.公司是世界上规模最大的唯一一个能够同时提供4种纳米表面成分状态分析仪器的公司。这4种仪器分别是X射线微区聚焦扫描光电子能谱仪(XPS),双筒镜俄歇电子能谱仪(AES),飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)和动态二次离质谱仪(D-SIMS)。这些超高真空分析仪器广泛用于各种高技术领域,如纳米科技,微电子,记录媒体,光催化,生物医学以及基础材料研究领域,如金属,聚合物,各种涂层等。尤其对新材料的研发和故障分析具有十分重要的意义。XPS不仅在表面定量方面独具特色,化学状态方面信息的提供对研究十分有价值。而AES可获得纳米级微区成分和图像的能力对纳米科技发展具有十分重要价值。
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