薄膜热应力测试系统(TST)R.pdf

  1. 类别:仪器样本
  2. 上传人:Andy8148
  3. 上传时间:2015/7/28 17:43:28
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简介:

薄膜热应力测试系统(TST) TST采用测量光学设计MOS传感器,MOS传感器荣获美国专利,可快速准确地测量薄膜的曲率、应力强度、随温度变化的曲线关系等。

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