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锤子
简介：
可变形反射镜(Deformable_Mirror)是自适应光学系统中的核心部件之一，它担负着校正由内、外因素引人的波前误差的任务，并补偿由光路中各种因素引起的成像质量降低的问题，即校正器。按照驱动方式的不同，可变形反射镜分为：(1)压电式；(2)电磁式；(3)电致伸缩式；(4)液压式； 微电子机械系统(MEMS)，是20世纪80年代迅速发展起来的一门综合性新兴学科。微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器、微控制器和微操作器等，集成于一个微小的空间，实现一种或多种设定的功能。MEMS技术代表着最为先进的制造技术，利用MEMS技术制造的可变形反射镜，是可变形反射镜的发展支撑。
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