纳米硬度计表征薄膜（涂层）力学性质

采用纳米压入技术测试薄膜（涂层）的力学性能日益受到关注。测试过程中可自动记录载荷－压深曲线，能够获取薄膜（涂层）的硬度、弹性模量、薄膜（涂层）自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据。本文扼要介绍了纳米压入技术表征薄膜（涂层）力学性能的测试原理。 瑞士CSM公司在PVD、CVD涂层表面机械性能测量技术方面是世界的领先者。目前，可以提供先进、可靠符合国际测试标准的测试技术，主要应用领域包括： //// 膜基结合强度与表面抗划擦能力 //// 硬度与弹性模量 //// 摩擦与磨损 //// 膜厚测量 //// 三维成像与材料表面形貌