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多功能 3D 光学表面轮廓仪（ OPTELICS HYBRID+，三维光学共聚焦显微镜/激光共聚焦显微镜/白光共聚焦显微镜 ），高度方向测量精度达0.05nm；系统整合了白光共聚焦+激光共聚焦技术；以双共聚焦光学系统为基础，集6项测试功能于一体，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉显微镜、垂直白光干涉显微镜、相差干涉显微镜、反射分光膜厚测量等功能；通常多台设备才能完成的测量，仅需一台设备即可实现，解决了需要使用多种工具的麻烦，满足在各种测量场景中的测试需求。
提供6个测试功能模块，应对多样测量需求
满足行业测试规格要求，High精度
提供多种测量和分析
自动化测量技术，高效测量
适用于满足多样场景测试需求
3D 光学表面轮廓仪（ 三维光学共聚焦显微镜/激光共聚焦显微镜/白光共聚焦显微镜） 一个平台提供6种测试功能:
1. 白光共聚焦
宽视野+High精度测量
高清彩色观察
2. 激光共聚焦
高倍·High 分辨率观察
搭载波长405nm的紫色半导体激光，无需前处理，以可媲美电子显微镜的High分辨率，鲜明捕捉纳米级细微构造。
3. 微分干涉测量
纳米级凹凸观察
共聚焦与微分干涉（DIC）相结合，实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低，对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。
4. 垂直白光干涉测量
数毫米宽广视野内的纳米级形状测量
白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形，通过垂直方向扫描找到干涉光强度高点，得到样品的高度分布数据。原理上，高度分辨率不受物镜放大倍数影响，因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测量。
5. 反射分光膜厚测量
纳米级透明膜厚测量
利用波长切换功能对6个波长的绝对反射率进行测量，光学建模计算得到膜厚。数nm～1μm的单层/多层膜厚可测量。测量区域在共聚焦观察图像上指定，亚微米区域～全视野的数mm区域的平均膜厚均可测量。而且因各个像素(pixel)的膜厚能够计测，所以可以测量膜厚分布。
6. 相差干涉测量
埃米级形状测量
白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹，与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像，通过解析实现高分辨率的高度分布测量。
多种波长切换
测量速度快
3D 形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）实现了业界快速帧率(15Hz~120Hz)扫描，实现图像拼接、自动测量、自动缺陷检测和快速测量。
High精度测量
三维形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）高度方向测量精度达0.05nm。
提供各种测量，分析和支持功能，具有可用性
LM eye是HYBRID的测量和分析软件，提供多种功能，帮助您顺利操作
测量和分析功能
可以测量和分析参数，包括轮廓，粗糙度和薄膜厚度
测量支持功能
HYBRID提供各种测量、分析
自动化操作，效率更高
LIBRA
LIBRA 是一个软件程序，它使用指定的平台执行自动测量。
LM 检测
LM Inspect 是一个软件程序，可以自动检测基材上的小颗粒和缺陷。并且支持使用缺陷审查和深度学习进行高精度缺陷分类。
其他型号：
1年
是
有
3人次技术培训。
3个月1次
免费更好失效硬件，提供免费的技术支持和服务。
24小时到达客户现场。
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