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三维表面轮廓仪

报价 面议

品牌

Lasertec

型号

OPTELICS HYBRID

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

多功能 3D 光学表面轮廓仪( OPTELICS HYBRID+,三维光学共聚焦显微镜/激光共聚焦显微镜/白光共聚焦显微镜 ),高度方向测量精度达0.05nm系统整合了白光共聚焦+激光共聚焦技术;以双共聚焦光学系统为基础,集6项测试功能于一体,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉显微镜、垂直白光干涉显微镜、相差干涉显微镜、反射分光膜厚测量等功能;通常多台设备才能完成的测量,仅需一台设备即可实现,解决了需要使用多种工具的麻烦,满足在各种测量场景中的测试需求。


  • 提供6个测试功能模块,对多样测量需求

  • 满足行业测试规格要求,High精度

  • 提供多种测量和分析

  • 自动化测量技术,高效测量


适用于满足多样场景测试需求

3D 光学表面轮廓仪( 三维光学共聚焦显微镜/激光共聚焦显微镜/白光共聚焦显微镜 一个平台提供6种测试功能:

       

屏幕截图 2024-08-07 095605.jpg


     

      

1. 白光共聚焦

宽视野+High精度测量

高清彩色观察

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2. 激光共聚焦

高倍·High 分辨率观察

搭载波长405nm的紫色半导体激光,无需前处理,以可媲美电子显微镜High辨率,鲜明捕捉纳米级细微构造。

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3. 微分干涉测量

纳米级凹凸观察

共聚焦与微分干涉(DIC)相结合,实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低,对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。

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4. 垂直白光干涉测量

数毫米宽广视野内的纳米级形状测量

白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形,通过垂直方向扫描找到干涉光强度高点,得到样品的高度分布数据。原理上,高度分辨率不受物镜放大倍数影响,因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测量。

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5. 反射分光膜厚测量

纳米级透明膜厚测量

利用波长切换功能对6个波长的绝对反射率进行测量,光学建模计算得到膜厚。数nm~1μm的单层/多层膜厚可测量。测量区域在共聚焦观察图像上指定,亚微米区域~全视野的数mm区域的平均膜厚均可测量。而且因各个像素(pixel)的膜厚能够计测,所以可以测量膜厚分布。

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6. 相差干涉测量

埃米级形状测量

白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹,与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像,通过解析实现高分辨率的高度分布测量。

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多种波长切换

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测量速度快

3D 形貌测量共聚焦显微镜(HYBRID)实现了业界快速帧率(15Hz~120Hz)扫描,实现图像拼接、自动测量、自动缺陷检测和快速测量。


High精度测量

三维形貌测量共聚焦显微镜(HYBRID)高度方向测量精度达0.05nm。


提供各种测量,分析和支持功能,具有可用性

LM eye是HYBRID的测量和分析软件,提供多种功能,帮助您顺利操作



测量和分析功能

可以测量和分析参数,包括轮廓,粗糙度和薄膜厚度


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测量支持功能

HYBRID提供各种测量、分析


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自动化操作,效率更高

LIBRA

LIBRA 是一个软件程序,它使用指定的平台执行自动测量。


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LM 检测 

LM Inspect 是一个软件程序,可以自动检测基材上的小颗粒和缺陷。并且支持使用缺陷审查和深度学习进行高精度缺陷分类。


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其他型号


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售后服务

1年

3人次技术培训。

3个月1次

免费更好失效硬件,提供免费的技术支持和服务。

24小时到达客户现场。

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