多功能的扫描电镜的样品台

本发明提供一种台阶式的扫描电镜样品台，以解决现有及现发明的扫描电镜样品台所存在的大部分问题。本发明目的主要通过以下技术方案来实现：台阶式样品台装配体包括台阶主体和凹形板两部分。其特征在于：台阶主体呈三层台阶形状；每一层表面都有不等数量的针脚孔；第一层除有针脚孔之外，还有圆形凹槽；第二层除有针脚孔外，还有螺纹孔；第一层和第二层交界处的边缘留有空隙；台阶主体两边加工有圆弧曲面；周身加工有孔；底部加工有燕尾槽。凹形板呈两边凸起中间凹下形状；两边凸起处有针脚孔和螺纹沉孔；凹形板周身加工有孔。本发明具有以下优点：（1）提高实验效率，可以在样品台上一次放置多个样品；（2）台阶主体的第一层有明显分辨方向的圆形凹槽，便于辨别相似样品；（3）块状较薄材料便于支撑；（4）观察圆形材料断面时，可以放置在第一层的圆形凹槽内，再用导电胶粘结牢固；（5）可以同时放置多个高度差相距较大的试样；（6）样品台周身留有手指预留地，安装时不容易打滑，方便推入卡口。