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锤子
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FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能: 1.轻元素分析:元素分析范围从H开始; 2.痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个ppm的轻元素都可以进行表征; 3.优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm; 4.深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。
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