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锤子
FIB-SEM双束电镜应用之Xe等离子快速切割技术
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：泰思肯
- 上传时间：2017/11/20 18:53:35
- 文件大小：578K
- 下载次数：11
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简介：
Xe等离子FIB能够实现微纳米，甚至毫米级的快速加工。Xe等离子FIB的最大束流为2μA，另外Xe离子的原子量更大，对纯Si的溅射效率比Ga离子约高30%。虽然Xe离子的溅射效率高，但是由于Xe离子的直径较大，Xe等离子束加工样品时产生的注入效应和损伤要比Ga离子束小。
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