FIB-SEM双束电镜应用之样品的截面抛光
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:泰思肯
- 上传时间:2017/11/22 10:35:38
- 文件大小:365K
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简介:
截面抛光是FIB主要用途之一。所谓截面抛光就是利用离子束将样品剖开观察内部的结构,从而分析样品内部的微观组织或缺陷。如下图所示,为了分析焊接界面处的产物,需要将焊接处剖开,从而可以对界面进行成份和晶体结构进行研究。
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