TESCAN扫描电镜之阴极荧光（CL）技术

电子束与样品相互作用后会激发出一系列信号，阴极荧光（Cathodoluminescence）则是其中一种。扫描电镜与阴极荧光技术相结合也是逐渐被广泛应用的光谱分析技术。 阴极荧光是由于电子束轰击氧化物或者半导体后产生的光发射现象，发射的波长范围为可见光、红外或者紫外光。对杂质原子导致阴极荧光现象的原理是，当晶体中掺入杂质原子时，一般会在满带与导带的能量间隔之间产生局部化能级G和A，在基态时，G被能级电子占据，A无电子；当受到入射电子激发时会产生大量的自由载流子，满带上的空穴被G上的电子捕获，导带中的电子被A能级陷住；当电子从A跃迁到G上时释放的能量可能转变为辐射，产生阴极荧光，其波长取决于A-G的能量差，与物质内部的微量掺杂元素和晶格缺陷及束流密度等因素有关。