TESCAN中间镜和电子束实时追踪技术在SEM_EDS_EBSD采集中的应用

我们都知道电子束束斑和图像分辨率有着非常紧密的关系的，电子束束斑越小分辨率越高，束斑如果太大会引起分辨率的下降，如图2。但是束斑太小的话，相应的束流也小，转化为成像信号的电子也少，而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时，将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。在满足信噪比的条件下，是否能带来更好分辨率的小束斑就有更好的图像质量呢？答案是否定的。