为什么特殊曲面设计的CL探测器更有优势

阴极荧光(CL)是扫描电镜中的一个非常重要的信号，其灵敏度可达到ppm级别。很多物质，如矿物、半导体、金属氧化物、稀土元素，甚至有机物和生物样本都有CL信号，因此CL的应用领域也越来越广。 不过CL信号属于电磁波信号，不受电磁场的作用，CL探测器的采集原理和电子探测器相差甚远。通常CL探测器都是类似BSE探测器，位于极靴下方，将CL信号直接反射进入探测器，如图1。因此，CL探测器反射面的设计对最终有多少CL信号能被采集到有决定性的影响。