用光学联用模块实现定点位置加工和TEM样品制备

双束电镜是在普通扫描电镜的基础上增加了离子枪，除了可以实现普通扫描电镜的功能外，还可以进行特定区域的加工。尤其在高校和科研院所，双束电镜最大的作用是给TEM进行高质量的样品制备。 利用双束电镜，用户可以根据需要在特定的区域进行可控的样品制备，这相对于传统的TEM样品制备方法有了很大的进步。但是一般双束电镜在特定的区域进行样品加工或TEM样品制备仍然是根据形貌图像来进行定位，现在随着科研水平的不断提高，仅通过形貌来进行定位已经越来越不能满足有些科研的要求。很多用户需要在特定的取向，或者相（相界）、晶粒（晶界）、应力部分、满足特定织构条件等区域进行样品的加工或者TEM样品制备，而这些要求用传统的双束电镜根据形貌定位则难以实现。用户只能随机的进行多个区域的加工，然后在TEM中进行倾转来满足一些需要。这样既费时费力，而且时常也达不到预期的效果。