桌面型原子层沉积系统
- 类别:仪器样本
- 上传人:巨力科技
- 上传时间:2019/7/23 19:03:23
- 文件大小:4521K
- 下载次数:3
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简介:
AT 系列ALD System 是一款小尺寸桌面型的原子层沉积系统,采用全新的设计理念、便捷的控制系统和丰富的成膜Recipes,为广大科研工作者提供了最优化的成膜系统。
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