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锤子
简介：
将腔室排空至所需的真空度后，将对真空进行监控。如果来自测试部件的空气进入测试室，则真空下降表明泄漏到测试部件中。解决方案泄漏测试仪检测到这种空气泄漏（“真空衰减”），从而表明存在泄漏。
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