使用NexION 1100G ICPMS分析高纯石英样品中的杂质元素

珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司

NexION 1100G ICPMS

本文介绍了使用NexION 1100G ICPMS测试高纯石英材料中的多种元素杂质。

高纯石英具有稳定的化学特性、优异的电绝缘性和透光性，是半导体行业不可或缺的原材料之一。为了得到高纯石英，需要去除石英原料的的多种杂质。元素杂质是影响高纯石英质量的重要指标，需要精确测量，其中碱金属、碱土金属及过渡金属最为关注。

在百级洁净台将石英样品使用高纯氢氟酸溶解，溶解后的样品在解热版上赶酸至近干，之后使用2%氢氟酸复溶，溶液上机测试即可。

图 1 测试元素标准曲线（点击查看大图）

测试结果如下表，为了验证测试结果的准确度，对平行-1的溶液样品进行了加标回收实验，元素的加标浓度均为100ppt，结果如下：

（点击查看大图）

珀金埃尔默NexION 1100G系列电感耦合等离子体质谱仪采用四极杆作为反应池，使用活性反应气消除如⁴⁰Ar⁺对⁴⁰Ca⁺、⁴⁰Ar¹⁶O⁺对⁵⁶Fe⁺的质谱干扰，同时利用四极杆反应池的质量筛选功能控制氨气产生的副产物，彻底消除测试过程中遇到的质谱干扰，保证测试结果的准确度。

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