在定义波长下，可通过测量样品在不同角度下的反射率，利用特殊数据处理手段，获取薄膜/涂层厚度指标。这方面的应用在多种行业逐步普及，例如太阳能光伏，电子元器件，光电元件，显示屏幕等行业，都涉及到将半导体沉积到元件表面，沉积速率的的变化薄膜厚度不同，对元件特性产生很大影响，因此，测定薄膜/涂层厚度非常重要。
德国耶拿公司采用SPECORD® 250 Plus紫外可见分光光度计和可变角度反射附件，测量膜的厚度和透过率。
SPECORD® 250 Plus，在单色器前有一个散列光栅，可以明显降低散射光，一方面可以预分解光，另一方面可提高透射和反射测量的灵敏度。
利用可变角度反射附件，通过灵活调节不同的测量角度的反射率，使用软件特殊工具直接计算不同的薄膜/涂层厚度，测量范围扩展到0.1um -200 um。
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http://img1.17img.cn/17img/old/NewsImags/files/2013710152157.pdf
关于“可变角度反射附件”：
可调角度范围为11°～60°，用于固体表面，薄片胶卷和其界面反射率、厚度和折射率的测量，测量范围为0.1-100um。比如电子行业中，电路板涂层厚度的测量等。
其他反射附件：
“固定角度反射附件”
反射角度固定在7℃，利用V-W光束结构，用于光滑、均一平板表面，层和反射材料的反射率及厚度的测量。
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