型号: | FF-200/1300 |
产地: | 北京 |
品牌: | 中科科仪 |
评分: |
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FF-200/1300型脂润滑分子泵
产品特点:
任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构
复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子,适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标:
进气口法兰 | DN200 CF DN200 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN40 |
抽速速率(L/s) | N2:1300 He:1000 H2:480 Ar:1250 | 压缩比 | N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | CF:6E-7 ISO-K:6E-6 | 最大连续前级压强(Pa) | 240 |
最大前级压强(Pa) | N2:600 | 最大气载量(sccm) | N2:2500 He:1850 H2:1450 Ar:950 |
额定转速(RPM) | 24000 | 启动时间(min) | ≤9 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | DC24/AC220 |
最大功率(W) | ≤500 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
建议前级泵(L/s) | 15 | 重量(kg) | 29(LF) 31(CF) |
应用领域:
平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振
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