型号: | FF-100/110 |
产地: | 北京 |
品牌: | 中科科仪 |
评分: |
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FF-100/110型脂润滑分子泵
产品特点:
任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构
复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子,适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标:
进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN25 |
抽速速率(L/s) | N2:110 He:100 H2:50 Ar:100 | 压缩比 | N2:1E8 He:1E2 H2:1E2 Ar:1E8 |
极限压强(Pa) | CF:6E-7 ISO-K:6E-6 | 最大连续前级压强(Pa) | 200 |
最大前级压强(Pa) | N2:300 | 最大气载量(sccm) | N2:300 He:240 H2:180 Ar:110 |
额定转速(RPM) | 42300 | 启动时间(min) | ≤3 |
冷却方式 | 水冷或风冷(环境温度5-32℃时可风冷) | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | 220±22 |
最大功率(W) | ≤300 | 适配电源型号 | FD-110A |
建议前级泵(L/s) | 2 | 重量(kg) | 8 |
应用领域:
平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振
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