| 型号： | GVC系列离子溅射仪 |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | 中科科仪 |
| 评分： |
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参数 | GVC-1000 | GVC-1200 | GVC-2000 | GVC-2200 |
外形尺寸 | 424×2 65×260mm | 424×295×260mm | 424×265×260mm | 424×295×260mm |
输入电压 | 220V/50Hz (可定制 110V 输入) | |||
溅射电压 | 2400V | 600V | ||
工作原理 | 直流溅射 | 磁控溅射 | ||
最大功率 | 500W | 450W | ||
靶材尺寸 | φ57×0.1 2mm | |||
可选靶材 | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材 | |||
真空泵 | 旋片式真空泵 1L/s（可选配无油涡旋泵） | |||
真空室 | φ128×130mm | |||
极限真空 | 0.1Pa（电阻式真空规） | |||
抽气节拍 | ＜90s | |||
样品杯 | φ90 样品杯 1 个/φ25 样品杯 4 个/φ15 样品杯 6 个 | |||
样品室进气接头 | Φ4 快拧接头（外径 4mm，内径 2.5mm 气管） | |||
样品室进气 | 自动 | 手动 | 自动 | 可固定不动 |
放气 | 自动 | 手动 | 自动 | 手动 |
工作电流 | 2-30mA
任意可调 | 2-30mA
任意可调 | 2-50mA
任意可调 | 30-50mA
固定值 |
电压可调 | 否 | 否 | 是 | 否 |
颗粒大小 | 10-20nm | 6-10nm | ||
工作气体 | 空气或氩气 | |||
保护功能 | 过流保护（＞50mA 自动切断）、真空保护（＞100Pa 自动切断） | |||
产品特点 |
全自动控制、简单易用 |
性价比高 | 膜层均匀，颗粒更细，可在较好的真空度下实现大电流溅射，基本无 温升，不损伤样品。 | |
镀膜附着力 | 一般 | 较强 | ||
适用样品 |
通用样品（对温度不敏感），如无机盐粉末、耐火材料、纤维等。 |
所有样品，尤其是对温度敏感样 品，对覆膜颗粒度和附着力有要求的样品如电池隔膜、滤膜、各种生物样品等 | ||
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