2021年4月21日至23日,第十五届中国科学仪器发展年会(ACCSI2021)在无锡举办。ACCSI定位为科学仪器行业高级别产业峰会,被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯”论坛。中科科仪作为国内尖端科学仪器行业领军企业,受邀参加了本次年会,并在首届中国电镜产业化发展论坛中分享了中国电镜产业化历程。
会上,中科科仪电镜事业部总经理孟祥良系统介绍了中科科仪电镜产业化历程。根据1963年我国《十年科技规划》要求,中科科仪(原中国科学院科学仪器厂)承接了试制高分辨率电子显微镜任务,在国家“自力更生、迎头赶上”的方针指导下,联合长春光机所等全国电镜领域的专家,于1965年研制成功我国第一台DX-2型透视电镜。从此,中科科仪在电子显微镜领域走上了长足的发展道路,分别于1975年研制成功我国第一台DX-3型扫描电镜且分辨率达到10nm、1985年研制成功KYKY-1000B扫描电镜分辨率达到6nm、1994年研制成功KYKY-2800B扫描电镜分辨率达到4.5nm、2010年研制成功KYKY-EM3900M型扫描电镜分辨率达到3nm,直至2014年研制成功我国首台场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100型扫描电镜分辨率达到1nm。中科科仪作为我国唯一一家坚持在电子显微镜领域持续耕耘50余年的企业,经历、见证了我国电子显微镜的发展历程,并始终代表着我国扫描电子显微镜技术发展的最高水平。
(KYKY-EM8100场发射枪扫描电子显微镜)
扫描电子显微镜作为一种高端电子光学仪器,被广泛应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业制造,是科技日报列出的35项“卡脖子”关键技术之一。中科科仪场发射枪扫描电子显微镜的研制成功,打破了国外的技术垄断,填补了国内空白,使得我国成为继美国、德国、日本和捷克之外第五个掌握该项技术的国家,为我国前沿科学研究和战略新兴产业高端装备的自主可控提供了重要支撑。
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