| 型号： | EBHE-1 |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | |
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E-Beam 蒸发源EBHE-1
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高效的水冷结构，无需区分进、出水口
快速填料
简便更换灯丝
挡板小巧，与法兰口兼容
带有外界磁场屏蔽的可靠束流监控装置
精确的旋转导入控制棒材位置：线性移动行程25mm, 推进指示精度0.01mm
中科院物理所成熟的专利技术, 性价比高
交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短
适用于较难蒸发的低蒸气压材料, 使其局部快速升温, 产生分子束流, 外延生长成膜, 可达到很好的效果.
| 安装法兰 | DN40CF |
| 蒸发温度 | ≥ 3000℃ |
| 腔内尺寸 | 直径：34mm, 长度：170mm 和210mm，可定制 |
| 最大功率 | 250W |
| 高压范围 | 0~2000V |
| 灯丝电流 | 0~2.5A |
| 最高烘烤温度 | 200℃ |
| 蒸发材料性状 | 棒状、丝状、粉末状 |
| 坩埚 | 材质：钨、钼、钽，容量：0.12cc， 0.18cc |
E-Beam 蒸发源控制器EBHC-101
| 指标名称 | 范围 | 精度 | |
| 高压输出 | 输出电压 | 0~2000V | 1V |
| 发射电流 | 0~125mA | 1mA | |
| 功率 | 0~250W | 0.1W | |
| 灯丝电流 | 0~7A | 10mA | |
| 束流输入 | 100pA~1mA | 100pA | |
| 尺寸信息 | 高度3U，19”机柜，深度400mm | ||
| 产品重量 | 8Kg | ||
5.6”LCD 触控屏，操作简单
灵活的工作模式（手动、恒高压、恒发射电流、恒功率、恒束流和外部控制）
多种接口类型（USB/Ethernet/RS232）
简便的数据存储和输出
屏幕截图功能
操作简洁，带有Linux 系统的ARM11 处理器，可进行有线/ 无线远程控制，可利用USB 接口进行在线升级
一对一接口连接，安装方便
电子束蒸发源配套控制器或作为独立高压电源及电子束加热控制器使用
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