第十一期 纳米测量机(三坐标仪、轮廓仪、形貌仪)

2007-01-12 16:11  下载量:490

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纳米测量机(三坐标仪、轮廓仪、形貌仪) 德国Klocke公司的Nanoprofilometer是兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测量系统,可在50mm x 50mm x20mm的空間範圍裏實現分辨率1nm的三維座標測量,跨越8个数量级。系统测量范围大,且具有极高的空间三维精度,解决了通常纳米测量设备的缺点。

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