第十二期 光刻胶——光刻图形转移工艺的重要媒介

2007-01-12 16:21  下载量:450

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汇德信的Newsletter 是一封由北京汇德信科技有限公司为您提供的关于德国高新技术、汇德信及其代理厂商最新动态的资讯报导。 微细加工技术中的一个关键工艺是实现图形转移,也就是光刻工艺。在此过程中,光刻胶涂覆在半导体、导体或绝缘衬底,经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用,然后进行蚀刻并最终获得永久性的图形。

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