资料摘要
资料下载电子束光刻广泛应用于低温电子器件、光电子器件、量子结构、输运机制、微系统、光器件和半导体与超导体材料界面等的研究中。
文献贡献者
铸造专用红外测温仪CellaCast产品详细介绍
简介：CellaCast 系统是基于光学分辨率很高的双色（比）高温计的。双色比高温计的测量结果非常可靠，即使高温计视场的周围有大量的烟尘也不受影响。矩形视场保证每次都能捕捉到浇注，即使浇注位置发生波动也同样尽收眼底，由此持续不断地产生准确的熔液流内温度数据。 CellaCast 具有智能ATD功能（自动测温），可自动产生每个模具的温度读数。ATD功能使得高温计在铸勺开始浇注时就开始测量温度。如遇火焰、金属熔液滴（相对于浇注流而言）等干扰，不会妨碍测量，也不会削弱信号。在有这种干扰的情况下，温度读数依然会非常准确。测量过程完成后，CellaCast 即显示每个已浇注模具的温度读数。通过模拟输出和串行接口进行数据传输。传输数值也可以在大型的外部数字显示器上看到，使得铸造厂操作员可即时看到温度读数。也可以连接一个警报信号显示装置，超过温度限度时便于发现。温度数据可保存在电脑里或通过数据获取系统记录下来。
光刻胶产品彩页
简介：该文系统的介绍了德国Allresist公司所研发出的各种常用光刻胶型号，包括紫外光刻胶、电子束光刻胶（抗蚀剂）、图形反转胶、耐刻蚀保护胶、全系曝光光刻胶、聚酰亚胺光刻胶等。 光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist，又翻译为抗蚀剂、光阻等。广泛应用于集成电路(IC)，封装(Packaging)，微机电系统(MEMS)，光电子器件光子器件(Optoelectronics/Photonics)，平板显示器(LED,LCD,OLED)，太阳能光伏(Solar PV)等领域。 德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发、生产和销售的专业公司，有丰富的经验和悠久的传统。可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶，电子束光刻胶（抗蚀剂）以及相关工艺中所需要的配套试剂。 北京汇德信科技有限公司作为德国ALLRESIST的国内独家代理经销商，为国内用户提供高品质的光刻胶以及配套服务。
纳米级三维测量仪
简介：纳米级三维测量仪(3D Nanofinger）是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备，可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等。 产品具有极高的自动控制功能，并可与精密加工、微组装设备组合，进行在线检测、质量控制等。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 该资料介绍了该款产品的详细测量参数等信息，欢迎点击下载！
第十五期newsletter(全面的纳米压印技术服务——涵盖压印设备和工艺)
简介： 在上一期Newsletter中我们简单介绍了纳米压印光刻技术(NIL)。正是由于其具有分辨率高、生产速度快、低成本等特点，这种全新纳米图形复制技术获得了越来越多的关注。国内外众多研究所和高技术企业都在开展相关技术的研发，研究领域涉及下一代半导体制造；微流体、微光学器件；生物医学；高密度存储；光子晶体等，技术已日臻成熟。 但这项技术在推广过程中，仍存在不少技术难题，这些问题极大限制了纳米压印技术在应用领域的推广。其中如何获得高质量模板是很多研究人员认为最有挑战的一项。实际上，纳米压印的高效、低成本是与模板加工的高难度相辅相成的，只不过是将这种复杂性从硅片生产上转移到压印模板加工上。 要获得纳米图形的压印模板，加工过程很复杂。 通常使用电子束(EBL)直写来进行加工，这样可以获得最高的分辨率。具体过程是，先在压模上涂上—层电子束光刻胶，然后用电子束制出高分辨纳米图案，再进行刻蚀、剥离等常规的图形转移技术，将电子束光刻分辨形成的图形转移到压模基底上。...... 您也可直接访问以下链接查看文章http://www.germantech.com.cn/new/xxlook.asp?id=1333
第十四期 纳米压印模板——快速掌握纳米压印光刻技术的先进工具
简介：汇德信的Newsletter是一封由北京汇德信科技有限公司为您提供的关于德国高新技术、汇德信及其代理厂商最新动态的资讯报导。 紫外纳米压印简介： 目前，我们提供紫外固化纳米压印所需的模板、压印胶及相关工艺。使用过程中，首先在衬底上旋涂一层压印胶，然后将刻有3D图形的模板压入胶内，并用紫外光照射、固化。然后将模板与样品分离。实现图形转移。 ......
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