方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy,SPM),其原理是利用一个细微的探针在样品表面扫描的同时,检测探针与样品之间相互作用的物理量,从而表征材料表面的形貌、粗糙度、电流电势分布及磁畴分布等。SPM在一定测试环境下,可以准确测量样品表面纳米级及以下的起伏。本文对放置在不同位置的具有相同配置的SPM-9700HT进行对比测试,证实了环境因素的确会对SPM-9700HT的测试产生一定的影响。
SPM-9700HT是岛津公司目前在售的一款扫描探针显微镜,可以准确表征样品表面纳米级及以下的起伏。本文使用两台SPM-9700HT(不同环境、相同配置及测试条件)对云母表面进行对比测试,研究环境因素对SPM-9700HT测试的影响,结果表明:使用某高校分析测试中心的SPM-9700HT获得的测试结果要优于岛津上海分析中心SPM-9700HT的,即仪器所处环境(振动、噪音及电磁干扰)越好,其测试效果越好,且环境因素对微小区域的测试结果影响更大。希望该结果为岛津SPM用户的表征测试和安装环境提供一定的参考。
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