方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
红外光束聚焦附件,可以将光斑缩小,测试微小样品及较大样品上的微小区域,可配合使用不同的夹具,测试不同类型的样品。本文使用XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架测试了晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元的红外光谱,比较微处理不同区域的红外光谱透射率的差异,为晶圆片的质量管控和工艺优化提供指导。
本文使用红外光谱仪配合六倍聚焦附件的XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架,测试了硅晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元及未处理区域的红外光谱透射率,比较不同区域的红外光谱透射率的差异。实验表明,红外光谱仪及六倍聚焦附件,可以方便的测试样品的微小区域,通过监控微小区域的透射率来优化质量管控和工艺。
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