方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | / |
红外光束聚焦附件，可以将光斑缩小，测试微小样品及较大样品上的微小区域，可配合使用不同的夹具，测试不同类型的样品。本文使用XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架测试了晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元的红外光谱，比较微处理不同区域的红外光谱透射率的差异，为晶圆片的质量管控和工艺优化提供指导。
本文使用红外光谱仪配合六倍聚焦附件的XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架，测试了硅晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元及未处理区域的红外光谱透射率，比较不同区域的红外光谱透射率的差异。实验表明，红外光谱仪及六倍聚焦附件，可以方便的测试样品的微小区域，通过监控微小区域的透射率来优化质量管控和工艺。
文献贡献者
LC-MS/MS同时分析93种全氟和多氟烷基化合物
锂离子充电电池鼓胀气的分析
一次分析锂离子电池内部降解的鼓胀气
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