方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | / |
采用高灵敏度的PDHID检测器，完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体（O2、N2、CO、CO2）和氟化碳组分（CF4、C2F6、C3F8）。分析时间在30分钟内，使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析，重现RSD≤2%。
本文利用岛津GC-2030系统气相仪和PDHID检测器建立分析SF6中微量杂质系统。使用PDHID检测器，一次进样同时完成O2、N2、CO、CO2和氟化碳化合物的分析。该方法分析周期为30min，10ppm时RSD≤2%，重复性良好，可以应用于电子级SF6中痕量杂质的连续分析。
文献贡献者
LC-MS/MS同时分析93种全氟和多氟烷基化合物
锂离子充电电池鼓胀气的分析
一次分析锂离子电池内部降解的鼓胀气
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