X射线荧光粉末压片法测定多晶硅中杂质元素

2024/01/04   下载量: 2

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应用领域 材料
检测样本 天然高分子材料
检测项目
参考标准 /

本文参考GB/T 14849.5-2014《工业硅化学分析方法 第5部分:元素含量的测定 X 射线荧光光谱法》,利用岛津XRF-1800波长色散型X射线荧光光谱仪,采用粉末压片制样方法,测定多晶硅中杂质元素含量。利用工业硅标准样品建立相应工作曲线,各杂质元素标准曲线线性良好,平行测定10次,各杂质组分分析精度良好。方法适用于多晶硅中铁、铝、钙、锰、镍、钛、铜、磷、镁、铬、钒、钴含量的测定,满足多晶硅生产对杂质成分的检测需求。

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本文参考国标GB/T 14849.5-2014利用岛津XRF-1800波长色散X射线荧光光谱仪,建立了多晶硅主要杂质成分的分析方法。分析结果表明,元素的标准曲线线性良好,样品测定精度良好,验证准确度结果满足国标要求。利用此方法测定多晶硅样品,测定结果满足生产需求。


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