大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化,特别是用于生产的真空设备,几乎不可避免地会发生真空度下降等问题,造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。
定期的泄漏检测很重要
实漏和虚漏
真实的泄漏可以通过检漏找到,放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决,而虚漏一旦产生,很难被发现,需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺,如上图中的螺纹连接(一定要用的话可以使用空心螺栓),很长的狭缝或毛细管,两侧满焊的腔体焊接(较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊)等等。
下面两种方式,可以用来判断真空系统是否存在真实的泄漏。
如上图中的系统A,如果多次测量的压升率基本恒定不变,那么很可能系统有真实的泄漏。对应的,如上图中的系统B,随着时间的推移,其压升率下降,即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢,则暗示有虚漏或放气(可能也有小的泄漏)。
压降和压升测试不会定位泄漏,而只会指示所有气源(实际泄漏和放气或虚漏)的叠加效应。如果怀疑有真实的泄漏,下一步则通常要使用氦气检漏仪进行检漏。
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏,即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏;而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间,通过阀门隔离的两段真空管道之间,或真空腔室与管道之间,发生了泄漏。
下图是一个典型的扩散泵抽气机组,罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的,如果该阀门关闭不严,高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏,这种泄漏就是内漏。和外漏类似,内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。
外漏可以方便的通过检漏仪直接找到,而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断,然后拆掉可疑的阀门一侧的管道,然后再进行检漏(或者在可疑阀门的一侧连接检漏仪,向另一侧的管道内充入氦气进行检漏)。
动态泄漏
真空腔体检漏需要操作者具备扎实的基础知识和丰富的操作经验,现场情况复杂多变,如有任何问题,欢迎关注“安捷伦真空”微信公众号与我们的工程师在线交流,或者拨打安捷伦科技真空产品热线:
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