方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 集成电路 |
检测项目 | 化学性质>元素分析 |
参考标准 | / |
在冷等离子体模式下形成的、等离子体衍生的多原子离子NO+,可通过电荷转移反应在反应池中产生少量的 Ar+,在m/z = 40 处干扰 Ca 的测定。Agilent 8800 ICP-MS/MS 在 ICP-MS/MS 特有的 MS/MS 模式下运行,可以阻止等离子体衍生离子进入反应池,防止多余反应的发生。这可以使 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪在检测UPW 中的 Ca 时实现 41 ppq 的 BEC
在冷等离子体模式下形成的、等离子体衍生的多原子离子NO+,可通过电荷转移反应在反应池中产生少量的 Ar+,在m/z = 40 处干扰 Ca 的测定。Agilent 8800 ICP-MS/MS 在 ICP-MS/MS 特有的 MS/MS 模式下运行,可以阻止等离子体衍生离子进入反应池,防止多余反应的发生。这可以使 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪在检测UPW 中的 Ca 时实现 41 ppq 的 BEC
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