使用 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪分析NMP中痕量的硫、磷、硅和氯

2021/03/11   下载量: 11

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目 化学性质>元素分析
参考标准 -

S、P、Si 和 Cl 对四级杆 ICP-MS 分析都是极具挑战性的元素,而对 NMP 这样的有机基质,这些元素的检测会更加困难。使用 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪,在其独特的 MS/MS 模式下采用质量转移方法,对所有分析物都获得了很低的 BEC,充分展示了 ICP-MS/MS 在应对 ICP-MS 领域最具挑战的应用中表现出的灵活性和优越的性能。

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S、P、Si 和 Cl 对四级杆 ICP-MS 分析都是极具挑战性的元素,而对 NMP 这样的有机基质,这些元素的检测会更加困难。使用 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪,在其独特的 MS/MS 模式下采用质量转移方法,对所有分析物都获得了很低的 BEC,充分展示了 ICP-MS/MS 在应对 ICP-MS 领域最具挑战的应用中表现出的灵活性和优越的性能。

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