方案摘要
方案下载应用领域 | 机械设备 |
检测样本 | 泵/阀门/压缩机 |
检测项目 | 真空 |
参考标准 | 安捷伦 |
大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化,特别是用于生产的真空设备,几乎不可避免地会发生真空度下降等问题,造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。 定期的泄漏检测很重要
定期的泄漏检测很重要
大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者极限压力明显高于正常值。然而,有些时候,由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载,小的泄漏很难被发现,这时,即使真空计的读数仍然在正常的水平,泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体(如氧气),这些气体有时候会对工艺过程(比如某些镀膜工艺)带来非常严重的影响。所以,无论真空系统的压力是否有明显下降,都应该定期进行泄漏检测。
实漏和虚漏
真实的泄漏可以通过检漏找到,放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决,而虚漏一旦产生,很难被发现,需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺。
下面两种方式,可以用来判断真空系统是否存在真实的泄漏。
压降曲线分析
压降和压升测试不会定位泄漏,而只会指示所有气源(实际泄漏和放气或虚漏)的叠加效应。如果怀疑有真实的泄漏,下一步则通常要使用氦气检漏仪进行检漏。
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏,即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏;而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间,通过阀门隔离的两段真空管道之间,或真空腔室与管道之间,发生了泄漏。
外漏可以方便的通过检漏仪直接找到,而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断,然后拆掉可疑的阀门一侧的管道,然后再进行检漏(或者在可疑阀门的一侧连接检漏仪,向另一侧的管道内充入氦气进行检漏)。
动态泄漏
单克隆抗体的高分离度、高通量体积 排阻色谱分析
采用液相色谱-四极杆串联飞行时间高分辨质谱分析锂电池中的碳酸酯有机溶剂组分
使用 Agilent 5800 ICP-OES 测定固态 电解质锂镧锆钽氧 (LLZTO) 中的 主量元素
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